Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico
AUTOR(ES)
Jose Wilson Camilher Carvalho
DATA DE PUBLICAÇÃO
1980
RESUMO
In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations
ASSUNTO(S)
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