Hot-filament metal oxide deposition (HFMOD): a novel method for depositing thin films of metallic oxides

AUTOR(ES)

Rouxinol, F. Paulo, Trasferetti, B. Cláudio, Landers, Richard, Moraes, Mário A. Bica de

FONTE

Journal of the Brazilian Chemical Society

DATA DE PUBLICAÇÃO

2004-04

RESUMO

O presente artigo descreve um novo método para a síntese de filmes finos de óxidos metálicos. Um filamento de metal, que pode ser aquecido por uma fonte de corrente alternada é instalado numa câmara de vácuo. Por meio de um fluxômetro de massa, oxigênio pode ser admitido no interior da câmara. Da reação entre o oxigênio e o metal do filamento aquecido, espécies de óxidos voláteis Me xOy, onde Me é o metal, são formadas, se condensando num substrato colocado próximo ao filamento, formando o filme. Foi observado que os filmes finos de WxOy e Mo xOy podem ser depositados de forma satisfatória por este novo método. Embora várias outras técnicas de análise tenham sido usadas para caracterizar os óxidos, esta nota enfatiza os resultados obtidos por espectroscopia de fotoelétrons de raio-X (XPS).

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