Processamento, propriedades e aplicações das cerâmicas de nitreto de alumínio

Resumo O nitreto de alumínio (AlN) é considerado um adequado material para substratos e materiais de encapsulamento de dispositivos microeletrônicos devido à elevada condutividade térmica, às excelentes propriedades elétricas e ao coeficiente de expansão térmica próximo daquele observado para o silício. Estas propriedades tornam o AlN um excelente candidato para substituir a alumina (Al2O3) e berília (BeO) usadas na fabricação de dispositivos semicondutores. O presente artigo apresenta o estado da arte da cerâmica de AlN, com objetivo de mostrar os avanços em processamento dese...

• Assuntos:

  • AlN
  • síntese
  • sinterização
  • condutividade térmica
  • propriedades mecânicas