Microelectromechanical Systems
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1. Carbeto de Silício como Material Base para Sensores MEMS de Uso Aeroespacial: Uma Visão Geral
Este artigo discute o emprego do carbeto de silício (SiC), na forma de substrato e filme fino, em sensores MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) para aplicações em ambientes sujeitos a condições extremas, especialmente no setor aeroespacial. As propriedades físicas e químicas do SiC que o tornam um material adequado para dispositivos eletrônicos e
Matéria (Rio J.). Publicado em: 2014-09
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2. Caracterização de propriedades mecânicas de materiais utilizados em microssistemas eletromecânicos / Mechanical properties characterization of materials used in micro-electro mechanical systems
A caracterização das propriedades mecânicas de filmes finos faz-se necessária para o projeto e fabricação de Microsistemas Eletromecânicos (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems), que demanda dados precisos dos materiais. Esta pesquisa descreve um novo método de caracterização das propriedades mecânicas de filmes finos, barato e aplicávela uma
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 27/07/2012
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3. Otimização da síntese do projeto de atuadores MEMS baseados em deformação elástica e estrutura comb-drive / Optimization design synthesis of MEMS actuators based on elastic deformation and comb-drive structure
MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) é um microsistema invasivo, intermediador e interativo que se desenvolve de forma inteligente, versátil e eficiente. Entretanto, a interatividade, característica que o torna altamente atrativo e suas qualidades de leveza, invisibilidade, economia quanto a consumo de energia, robustez e alta confiabilidade são foco
Publicado em: 2010
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4. Sistema para corrosão anisotropica profunda de sensores microeletromecanicos / Anisotropic etching system for micro electrical mechanical sensor
Integrated Silicon Sensors and Microelectromechanical Systems (MEMSs) have been developing drived mainly by the micro and nanoelectronic industry s continuous growth. As a result, MEMSs have been spreading out very quickly into commercial products. In fact, MEMSs have undertaken room in automotive market where pressure sensors as well as accelerometers have
Publicado em: 2009
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5. Desenvolvimento de um sistema microcontrolado para monitoramento de atividades esportivas baseado em sensores microeletromecanicos de aceleração e giro / Microcontroller sport activitis monitoring system prototype based on acceleration and rotation microelectromechanical sensors
Apesar de existirem várias ferramentas tecnológicas para o auxílio do treinamento esportivo, a maioria delas são soluções de alto custo e geralmente específicas para um esporte em particular, o que dificulta a difusão de tais tecnologias no país. Este trabalho propõe o desenvolvimento de um protótipo eletrônico microcontrolado de baixo custo, bas
Publicado em: 2009
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6. Development of MEMS switch device technology MEMS - MicroelectromechanicalSystems - for RF - radio frequency - and new topologies of RF CMOS integrated circuits for radio receivers input sub-systems / Desenvolvimento de tecnologia de dispositivos chaves MEMS - MicroelectromechanicalSystems - para RF - Radio Frequencia - e novas topologias para circuitos integrados CMOS de RF em sub-sistemas de entrada de radio receptores
Este trabalho apresenta dois tópicos de pesquisa, o primeiro é referente ao projeto e desenvolvimento da tecnologia de fabricação de Chaves MEMS (Micro Electro Mechanical System) de RF e o segundo é o projeto de circuitos integrados. No que se refere a chaves MEMS, descreve-se o processo e a metodologia para projeto de Chaves MEMS paralela sobre linha d
Publicado em: 2008
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7. Capacitive microsensor for evaluation of the quality of automotive fuels. / Micro-sensor capacitivo para avaliação da qualidade de combustíveis automotivos.
This work proposes a capacitive sensor with interdigitated electrodes in order to evaluate the quality of automotive fuel. Interdigitated electrodes have some interesting features for this type of sensor. Among them, they increase the capacitance by having several capacitors in parallel, and by having a structure feasible to be manufactured by conventional m
Publicado em: 2008
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8. Development of field emission devices fabricated by HI-PS technique. / Desenvolvimento de dispositivos de emissão por efeito de campo elétrico fabricados pela técnica HI-PS.
Um novo processo de fabricação de dispositivos de emissão de campo (FE) em silício (Si) é apresentado nesta tese, baseado na potencialidade de utilização da técnica de microusinagem denominada HI-PS (Hydrogen Ion Porous Silicon), que trata da combinação entre processos de implantação de hidrogênio e silício poroso. Por meio do procedimento prop
Publicado em: 2008
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9. Modeling of MEMS switches for RF applications. / Modelagem de chaves MEMS para aplicações em RF.
In this thesis, the main concepts of MEMS, their application, fabrication processes, components and systems are addressed. The objective of the thesis is a detailed study of MEMS switches for RF applications, that present good performance at high frequencies and with a potential for bandwidth improvement. More specifically, the study was deeply conducted for
Publicado em: 2007
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10. Design of multi-phase micromechanisms using the topology optimization method. / Projeto de micromecanismos multifásicos usando o método da otimização topológica.
A micromechanism is essentially a device of milimetric, or even micrometric, dimensions that can actuate as a gripper, tweezers, clamp, etc. When coupled to an electronic system, they are called "Micro-Electro-Mechanical Systems" (MEMS). Almost all of these devices are constituted by compliant mechanisms, where the motion is allowed by the compliance of its
Publicado em: 2006
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11. Projeto, fabricação e teste de uma microbomba sem valvulas / Design, fabrication and test of a valveless micropump
Hoje em dia, os microssistemas eletromecânicos (MEMS) constituem uma das áreas mais promissoras e de rápido crescimento entre as novas tecnologias. Uma área de destaque na utilização de MEMS é a microfluídica, onde diversos tipos de equipamentos miniaturizados são necessários. As microbombas têm um papel fundamental neste tipo de microdispositivos
Publicado em: 2006
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12. Modeling peristaltic micropump with electro-mechanical analogies / Modelagem de microbomba peristaltica de elastomero usando a tecnica de analogias eletro-mecanicas
Os sistemas microfluidicos estão evoluindo rapidamente, encontrando vastas aplicações na mais diversas áreas do conhecimento. Os Lab-on-Chips, LOCs, são dispositivos capazes de realizar análises químicas e bioquímicas em um único chip. Este dispositivo pode causar grande impacto no mercado de análises laboratoriais, por este motivo vem ganhando gra
Publicado em: 2006