Ionizing Cage
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1. Desenvolvimento e caracterização de dispositivos para reposição de filmes finos por descarga em cátodo oco
Filmes finos de TiO2 foram depositados sobre substrato de silício usando descarga em cátodo oco. A presente técnica foi usada como alternativa a outras técnicas como solgel, PECVD, dip-coating e magnetron sputtering. O sistema desenvolvido apresenta uma configuração de cátodo oco cilíndrico polarizado com tensão DC variando entre 0 e 1200V e corrent
Publicado em: 2006