Equacao De Stoney
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1. Minimizing the stroin energy of thin films on thick substrates / Minimização da energia de deformação de filmes finos com substratos espessos
O objetivo deste trabalho é a obtenção de um modelo tridimensional, que descreva as tensões que surgem em filmes finos depositados em substratos espessos planos. Para isto é utilizado o método da minimização da energia de deformação da amostra (filme fino/substrato), já descrito e utilizado na literatura para uma descrição unidimensional do prob
Publicado em: 2009