Estudo de difusão de zinco em antimoneto de galio

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

1986

RESUMO

Difusão de zinco em antimoneto de gálio foi estudada e um modelo para esta difusão foi proposto, baseado em nossos resultados experimentais em comparação com a solução da equação de Transporte de impurezas. Este estudo foi conduzido com o propósito de contribuir para a produção de dispositivos opto-eletrônicos. A variação da profundidade de junção relacionada do tempo e temperatura de difusão, foi investigada para a determinação dos coeficientes de difusão e energias de ativação. A variação da concentração de aceitadores com a profundidade de junção também foi estudada. Estes perfis experimentais de concentração foram comparados com aqueles obtidos da solução analítica da equação de Transporte. Assumimos que o coeficiente de difusão efetivo é dependente da concentração de impurezas (Zn), e que esta dependência é explicada por uma lei simples de potência em n = 1 ou 2 ou 3, dependendo dos estados de carga dos átomos de zinco intersticial e substitucional. Este estudo contribui para proposição de um modelo de difusão de Zn em GaSb que envolve a difusão dissociativa e um mecanismo de difusão por formação de complexos

ASSUNTO(S)

difusão zinco galio

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