CorrosÃo de silÃcio (100) e de SiO2 em KOH assistida por ultra-som e desenvolvimento do processo de oxidaÃÃo de silÃcio.

AUTOR(ES)

FranÃa, Enrique Klai de

DATA DE PUBLICAÇÃO

2003

RESUMO

Esta tese à composta de trÃs partes : (1) InstalaÃÃo e calibraÃÃo do processo de oxidaÃÃo Ãmida do silÃcio no laboratÃrio de micromecÃnica do LAS; (2) um estudo da corrosÃo do Si (100) e do SiO2 em soluÃÃes de KOH, assistida por ultra-som de 25 kHz e (3) formulaÃÃo matemÃtica do problema da determinaÃÃo do diagrama completo de velocidades de corrosÃo. A primeira parte envolveu o projeto e montagem de partes de um forno de oxidaÃÃo, teste e consertos dos mÃdulos de potÃncia e controladores originais de temperatura, de 3 zonas, e a eventual substituiÃÃo destes Ãltimos por novos controladores, com alteraÃÃo do mÃtodo de controle. Foram caracterizados os perfis de temperatura para ajustes de "ponto de operaÃÃo" apropriados para a obtenÃÃo de perfis planos de temperaturas de 999,5oC e 1099,0oC na regiÃo central do tubo. Os resultados obtidos com a oxidaÃÃo de lÃminas a essas temperaturas e vÃrios intervalos de tempo mostraram que foi obtido o regime de saturaÃÃo de reagentes. Na segunda parte deste trabalho foram usadas amostras de silÃcio oxidadas e mascaradas litograficamente para medir com precisÃo as taxas de corrosÃo do silÃcio e do Ãxido e a rugosidade das superfÃcies corroÃdas, para vÃrias composiÃÃes de soluÃÃes de KOH e vÃrias temperaturas, na presenÃa ou nÃo de ultra-som. O ultra-som nÃo afetou significativamente as taxas de corrosÃo do silÃcio e do Ãxido, e da mesma maneira que, sem o ultra-som, a taxa de corrosÃo na presenÃa de ultra-som dependeu da temperatura segundo uma lei de Ahrrenius. Em alguns casos, a variaÃÃo da taxa foi da mesma ordem de grandeza que a dispersÃo das medidas. PorÃm, o ultra-som afetou significativamente o acabamento das superfÃcies, diminuindo a rugosidade em alguns casos em atà 4,6 vezes. Na terceira etapa foi desenvolvida uma estratÃgia para a determinaÃÃo do diagrama de velocidades de corrosÃo a partir de medidas de profundidade de cavidades de corrosÃo atravÃs de janelas na forma de paralelogramos.

ASSUNTO(S)

ensaios por ultra-som rugosidade de superfÃcie silÃcio ensaios de materiais corrosÃo oxidaÃÃo

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